Участок химико-механической полировки расположен в чистом помещении класса ISO 5 (class 100), оснащён высокоточным оборудованием и предназначен для проведения односторонней химико-механической полировки (ХМП) пластин из германия.Технология обработки позволяет получить подложки качества EPI-Ready, пригодные для последующего процесса эпитаксии. В результате ХМП достигается очень высокое качество поверхности подложек (шероховатость RMS<0.5 nm) и обеспечиваются заданные геометрические требования пластин. Сохранность обработанной поверхности достигается за