Участок химико-механической полировки расположен в чистом помещении класса ISO 5 (class 100), оснащён высокоточным оборудованием и предназначен для проведения односторонней химико-механической полировки (ХМП) пластин из германия.
Технология обработки позволяет получить подложки качества EPI-Ready, пригодные для последующего процесса эпитаксии.
В результате ХМП достигается очень высокое качество поверхности подложек (шероховатость RMS<0.5 nm) и обеспечиваются заданные геометрические требования пластин.
Сохранность обработанной поверхности достигается за счет индивидуальной упаковки пластин в ESD-пакетах, заполненных очищенным инертным газом.
Механическая полировка пластин из германия
Оператор готовится ко входу в чистое помещение класса ISO-5 с соблюдением требований порядка надевания специальной технологической одежды
Оборудование для химико-механической полировки и мойки пластин из германия
Процесс химико-механической полировки пластин из германия
Мойка и измерение EPI-ready пластин из германия
EPI-ready пластина, помещенная в специальную пластиковую кассету, упаковывается в ESD-пакет, наполненный инертным газом
